精密位移平臺的結構
轉動平通過四個對稱設置的平行柔性鉸鏈與基座7相連。當兩個驅動器的進給位移相等時,轉動平臺將繞平臺的中心轉動
精密位移平臺數學建模
工作行程、分辨率、精度、固有頻率是精密定位平臺的主要性能指標[8]。在以柔性鉸鏈為傳動機構的微動平臺的設計中,柔性鉸鏈的設計尤為重要。因此,本設計對精密定位機構進行了剛度、固有頻率和強度分析,在此基礎上對機構進行了設計,所選的材料是彈性較好的65Mn。其相關參數如下:屈服強度:σs=785MPa;彈性模量:E=210GPa;密度: ρ=7.9×103kg/m3 ;泊松比:μ=0.3
精密位移平臺的剛度分析
本設計中,采用了Btrain D. Jensen, Larry L. Howell提出的Small-length flexural pivot 型柔性鉸。平臺可簡化為一個剛體通過4個對稱柔性鉸鏈與支架相連的模型。
精密位移平臺的強度分析
在微動平臺的設計中,不但要保證平臺的剛度和固有頻率條件,也要保證平臺的強度。一般允許應力為材料屈服強度的10%左右。
精密位移平臺的優化設計
為了獲得較大的行程,所以應當在保證平臺的固有頻率和強度的條件下,盡可能降低平臺的剛度。以a和t為優化變量